在有益沉积涂层的辅助装置中具有良好反应能力和化学活性气体的带有冷阴极等离子发生器工艺。

    等离子气体，密度～ 10 10 cm -3 和电子温度～3 эв ，在大范围内（到 0.5立方米）震荡阴极点20-200 A、压强1.10 -1 ÷1帕。

    这些等离子发生器是由在轴向磁场轻轻搅拌的中空筒式阴极和弧形点燃系统构成。真空工作箱替代阳极的位置。引发内部中空阴极，在最大磁场内阴极点按圆型轨道旋转。在阳极范围内最低含有极微小馏分的同密度低温等离子气体震荡相同。

实际性

    在实际中等离子气体已经很广泛的应用于化学气相和物理真空沉涂层中，清洗和表面改性（酸洗、活性、硝化、氧化等等）。在沉积涂层过程中被应用的等离子是重要的稳定和强化因素。除此之外，提高了涂层的质量和辅助性能，也得到带有涂层特性的改性层，这些是其它表面改性方法不可比拟的。

    知识产权受俄罗斯政府专利保护。

建议合作的方式：

    建立合作研究中心；加工设备和工艺方面的相关合作；共同制定生产和出售设备及工艺的方案；在此领域中许可证或者其它感兴趣的方式；其他可行的合作方案。