纳米晶体超硬涂层镀膜设备

该设备可用于制备纳米晶体超硬涂层、耐磨、耐腐涂层、刀具刃具的耐磨涂层、以及对各种机器工件的工作表面进行处理以提高其使用寿命和质量。该设备装有两个高真空磁控溅射靶，一个高能量气体离子源及间接加热源。

应用领域 ：航空、医疗、食品等涉及到设备表面改性的领域均可使用。

技术参数 ： 外型尺寸： 3600*2900*2300mm 3

显微硬度：30-60 兆帕

沉积速率： 3-6纳米/秒.

工作气体：氩气、氮气、乙炔

真空室尺寸： Ф1000*500 mm 3

电网电压： 380/220V,

频率： 50Hz

功率： <25kW

冷却水耗量： <0。5m 3 /h.